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原来三维表面形貌测量仪还可以应用在这些领域中

发布日期: 2022-07-08
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  随着半导体技术的电子技术工艺的发展,电子产品都往小型化,轻薄化发展。iWatch的一经推出,穿戴电子产品成为了一个新的电子设备应用潮流。随着电子产品的小型化,器件体积越做越小,空间就紧凑起来,这对器件加工尺寸及工艺的容差要求就越来越高。如何管控器件的尺寸及加工工艺对检测手段提出了新的挑战。原来很多制程工序只要管控2D的尺寸,现在需要管控3D的尺寸,而且精度要求都在微米级别,这就需要一个高速、高精度的测量手段来管控生产品质。
 
  三维表面形貌测量仪应运而生,这款仪器采用非接触式线光谱共焦快速扫描技术,能够高精度还原产品的3D结构,对肉眼不可见的结构缺陷都能准确检测。因为具有较快的扫描速度,微米级别的精度和较强的稳定性,一经推出立马成为精密生产商的新宠。在精密铸件、精密点胶、3D玻璃,半导体缺陷检测和多层光学薄膜厚度检测,就是这款产品的主要应用领域。

  三维表面形貌测量仪的主要应用:
  1、3D玻璃缺陷检测;
  2、半导体表面缺陷测试;
  3、多层薄膜厚度测试;
  4、精密部件3D尺寸及段差测试;
  5、精密点胶胶线截面、胶线宽度、胶线高度测试。
 
  产品特性:
  1、采用白光共聚焦色差技术,可获得纳米级的分辨率;
  2、测量具有非破坏性,测量速度快,精确度高;
  3、测量范围广,可测透明、金属材料,半透明、高漫反射,低反射率、抛光、粗糙材料;
  4、尤其适合测量高坡度高曲折度的材料表面;
  5、不受样品反射率的影响;
  6、不受环境光的影响;
  7、测量简单,样品无需特殊处理。
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